ощных широкополосных ламп бегущей волны импульсного и непрерывного действия, магнетронов, тетродов миллиметрового диапазона (2013 год) , малогабаритных ускорителей электронов с энергией до 10 МЭВ для терапевтических и технических приложений (2014 год)
23.
Разработка базовых технологий создания мощных твердотельных сверхвысокочастотных устройств на базе нитрида галлия
1658, 4811094, 1
158, 001103
253, 012166, 5
296, 269192, 4
293, 55195, 7
287, 35189, 9
122, 0581, 1
109, 87573, 25
138, 37492, 25
создание базовых конструкций и технологий изготовления сверхвысокочастотных мощных приборов на структурах с использованием нитрида галлия (2008 год, 2010 год) , включая создание гетеропереходных полевых транзисторов с барьером Шоттки с удельной мощностью до 3 - 4 Вт/мм и рабочими напряжениями до 30 В, исследования и разработку технологий получения гетероструктур на основе слоев нитрида галлия на изоляторе и высокоомных подложках (2013 год) , разработку технологии получения интегральных схем, работающих в экстремальных условиях (2015 год)
24.
Исследование перспективных типов сверхвысокочастотных приборов и структур, разработка технологических принципов их изготовления
1046, 46698, 32
160, 2106, 8
99, 567, 02
274, 5183
298, 88199, 25
213, 38142, 25
исследование технологических принципов формирования перспективных сверхвысокочастотных приборов и структур, включая создание наногетероструктур, использование комбинированных (электронных и оптических методов передачи и преобразования сигналов) , определение перспективных методов формирования приборных структур, работающих в частотных диапазонах до 200 ГГц
25.
Разработка перспективных методов проектирования и моделирования сложнофункциональной сверхвысокочастотной электронной компонентной базы
1017, 375680, 525
49, 232, 8
331, 7224, 7
221, 4147, 6
238, 375157, 625
176, 7117, 8
создание полного состава прикладных программ проектирования и оптимизации сверхвысокочастотной электронной компонентной базы, включая проектирование активных приборов, полосковых линий передачи, согласующих компонентов, формируемых в едином технологическом процессе
Всего по направлению 1
96946405, 611
1485, 57993, 95
1392, 821929, 35
1375, 395855, 78
1603, 51069
1205, 35804, 12
1021, 1681, 2
857, 259570, 211
753, 004502
Направление 2. Радиационно стойкая электронная компонентная база
26.
Разработка базовой технологии радиационно стойких сверхбольших интегральных схем уровня 0, 5 мкм на структурах "кремний на сапфире" диаметром 150 мм
106, 6579, 65
6038
46, 6541, 65
создание технологии изготовления микросхем на структурах "кремний на сапфире" диаметром 150 мм (2009 год) , разработка правил проектирования базовых библиотек элементов и блоков цифровых и аналоговых сверхбольших интегральных схем расширенной номенклатуры для организации производства радиационно стойкой элементной базы, обеспечивающей выпуск специальной аппаратуры и систем, работающих в экстремальных условиях (атомная энергетика, космос, военная техника)
27.
Разработка базовой технологии радиационно стойких сверхбольших интегральных схем уровня 0, 35 мкм на структурах "кремний на сапфире" диаметром 150 мм
286, 65188, 1
39, 219, 6
170, 25113, 5
53, 237, 2
2417, 8
создание технологии изготовления микросхем с размерами элементов 0, 35 мкм на структурах "кремний на сапфире" диаметром 150 мм (2013 год) , разработка правил проектирования базовых библиотек элементов и блоков цифровых и аналоговых сверхбольших интегральных схем, обеспечивающих создание расширенной номенклатуры быстродействующей и высокоинтегрированной радиационно стойкой элементной базы
28.
Разработка технологии проектирования и конструктивно-технологических решений библиотеки логических и аналоговых элементов, оперативных запоминающих устройств, постоянных запоминающих устройств, сложно-функциональных радиационно стойких блоков контроллеров по технологии "кремний на изоляторе" с проектными нормами до 0, 25 мкм
245, 904164
13087
115, 90477
создание технологического базиса (технология проектирования, базовые технологии) , позволяющего разрабатывать радиационно стойкие сверхбольшие интегральные схемы на структурах "кремний на изоляторе" с проектной нормой до 0, 25 мкм (2009 год)
29.
Разработка технологии проектирования и конструктивно-технологических решений библиотеки логических и аналоговых элементов, оперативных запоминающих устройств, постоянных запоминающих устройств, сложнофункциональных радиационно стойких блоков контроллеров по технологии "кремний на изоляторе" с проектными нормами до 0, 18 мкм
365, 35235
108, 654, 3
166, 05110, 7
67, 752, 6
2317, 4
создание технологического базиса (технология проектирования, базовые технологии) , позволяющего разрабатывать радиационно стойкие сверхбольшие интегральные схемы на структурах "кремний на изоляторе" с проектной нормой до 0, 18 мкм
30.
Разработка базовых технологических процессов изготовления радиационно стойкой элементной базы для сверхбольших интегральных схем энергозависимой пьезоэлектрической и магниторезистивной памяти с проектными нормами 0, 35 мкм и пассивной радиационно стойкой элементной базы
141, 7597, 65
9263
49, 7534, 65
создание технологического процесса изготовления сверхбольших интегральных схем энергонезависимой, радиационно стойкой сегнетоэлектрической памяти уровня 0, 35 мкм и базовой технологии создания, изготовления и аттестации радиационно стойкой пассивной электронной компонентной базы (2009 год)
31.
Разработка базовых технологических процессов изготовления радиационно стойкой элементной базы для сверхбольших интегральных схем энергозависимой пьезоэлектрической и магниторезистивной памяти с проектными нормами 0, 18 мкм и пассивной радиационно стойкой элементной базы
257, 45159, 2
74, 637, 3
130, 3586, 9
42, 328, 2
10, 26, 8
создание технологического процесса изготовления сверхбольших интегральных схем энергонезависимой, радиационно стойкой сегнетоэлектрической памяти уровня 0, 18 мкм (2010 год) и создания, изготовления и аттестации радиационно стойкой пассивной электронной компонентной базы (2013 год)
32.
Разработка технологии "кремний на сапфире" изготовления ряда лицензионно-независимых радиационно стойких комплементарных полевых полупроводниковых сверхбольших интегральных схем цифровых процессоров обработки сигналов, микроконтроллеров и схем интерфейса
110, 73673
58, 60938
52, 12735
разработка расширенного ряда цифровых процессоров, микроконтроллеров, оперативных запоминающих программируемых и перепрограммируемых устройств, аналого-цифровых преобразователей в радиационно стойком исполнении для создания специальной аппаратуры нового поколения
33.
Разработка технологии структур с ультратонким слоем кремния на сапфире
370, 802231, 7
82, 95239, 8
190, 35126, 9
72, 648, 4
24, 916, 6
создание технологии проектирования и изготовления микросхем и сложнофункциональных блоков на основе ультратонких слоев на структуре "кремний на сапфире", позволяющей разрабатывать радиационно стойкие сверхбольшие интегральные схемы с высоким уровнем радиационной стойкости (2013 год)
34.
Разработка базовой технологии и приборно-технологического базиса производства радиационно стойких сверхбольших интегральных схем "система на кристалле", радиационно стойкой силовой электроники для аппаратуры питания и управления
92, 66973, 15
5140
41, 66933, 15
разработка конструкции и модели интегральных элементов и технологического маршрута изготовления радиационно стойких сверхбольших интегральных схем типа "система на кристалле" с расширенным температурным диапазоном, силовых транзисторов и модулей для бортовых и промышленных систем управления с пробивными напряжениями до 75 В и рабочими токами коммутации до 10 А (2009 год)
35.
Разработка элементной базы радиационно стойких интегральных схем на основе полевых эмиссионных микронанотриодов
74, 47150, 6
36, 226, 1
38, 27124, 5
создание ряда микронанотриодов и микронанодиодов с наивысшей радиационной стойкостью для долговечной аппаратуры космического базирования
36.
Создание информационной базы радиационно стойкой электронной компонентной базы, содержащей модели интегральных компонентов, функционирующих в условиях радиационных воздействий, создание математических моделей стойкости электронной компонентной базы, создание методик испытаний и аттестации электронной компонентной базы
256, 6167, 3
21, 410, 7
2516, 6
92, 461, 6
117, 878, 4
разработка комплекса моделей расчета радиационной стойкости электронной компонентной базы для определения технически обоснованных норм испытаний
37.
Разработка библиотек стандартных элементов и сложнофункциональных блоков для создания радиационно стойких сверхбольших интегральных схем
847, 488565, 025
10570
184, 5123
251, 2167, 5
195, 038130, 025
111, 7574, 5
создание технологии проектирования и изготовления микросхем и сложнофункциональных блоков на основе ультратонких слоев на структуре "кремний на сапфире", позволяющей разрабатывать радиационно стойкие сверхбольшие интегральные схемы с высоким уровнем радиационной стойкости (2012 год, 2015 год)
38.
Разработка расширенного ряда радиационно стойких сверхбольших интегральных схем для специальной аппаратуры связи, обработки и передачи информации, систем управления
921, 488613, 825
187, 5125
185123
141, 2594
216, 75 144, 5
190, 988 127, 325
разработка расширенного ряда цифровых процессоров, микроконтроллеров, оперативных запоминающих программируемых и перепрограммируемых устройств, аналого-цифровых преобразователей в радиационно стойком исполнении для создания специальной аппаратуры нового поколения, разработка конструкции и модели интегральных элементов и технологического маршрута изготовления радиационно стойких сверхбольших интегральных схем типа "система на кристалле" с расширенным температурным диапазоном, силовых транзисторов и модулей для бортовых и промышленных систем управления с пробивными напряжениями до 75 В и рабочими токами коммутации до 10 А, создание ряда микронанотриодов и микронанодиодов с наивысшей радиационной стойкостью для долговечной аппаратуры космического базирования
39.
Разработка и совершенствование методов моделирования и проектирования радиационно стойкой элементной базы
834, 4801555, 9867
7550
275183
210, 75140, 5
128, 15585, 4367
145, 57597, 05
разработка комплекса моделей расчета радиационной стойкости электронной компонентной базы для определения технически обоснованных норм испытаний
40.
Разработка и совершенствование базовых технологий и конструкций радиационно стойких сверхбольших интегральных схем на структурах "кремний на сапфире" и "кремний на изоляторе" с топологическими нормами не менее 0, 18 мкм
916, 75602
180120
191123
177, 5113, 5
189, 75126, 5
178, 5119
создание технологического базиса (технология проектирования, базовые технологии) , позволяющего разрабатывать радиационно стойкие сверхбольшие интегральные схемы на структурах "кремний на сапфире" с проектной нормой не менее 0, 18 мкм (2014 год) , создание технологического базиса (технология проектирования, базовые технологии) , позволяющего разрабатывать радиационно стойкие сверхбольшие интегральные схемы на структурах "кремний на изоляторе" с проектной нормой не менее 0, 18 мкм (2015 год)
Всего по направлению 2
5829, 23813856, 1867
427, 809292, 1
344, 371245, 95
326, 752161, 7
1229, 5819, 6
1163, 7780
980, 6652, 5
729, 6931486, 4617
626, 813417, 875
Направление 3. Микросистемная техника
41.
Разработка базовых технологий микроэлектромеханических систем
184, 215117, 9
165, 053105, 9
19, 16212
создание базовых технологий (2009 год) и комплектов технологической документации на изготовление микроэлектромеханических систем контроля давления, микроакселерометров с чувствительностью по 2 и 3 осям, микромеханических датчиков угловых скоростей, микроактюаторов
42.
Разработка базовых конструкций микроэлектромеханических систем
423, 712263, 8
87, 23942, 1
73, 47349, 7
10872
82, 555
72, 545
разработка базовых конструкций и комплектов необходимой конструкторской документации на изготовление чувствительных элементов и микросистем контроля давления, микроакселерометров, микромеханических датчиков угловых скоростей, микроактюаторов с напряжением управления, предназначенных для использования в транспортных средствах, оборудовании топливно-энергетического комплекса, машиностроении, медицинской технике, робототехнике, бытовой технике
43.
Разработка базовых технологий микроакустоэлектромеханических систем
202, 784132, 15
122, 35678, 55
44, 42829, 6
3624
создание базовых технологий (2009 год) и комплектов необходимой технологической документации на изготовление микроакустоэлектромеханических систем, основанных на использовании поверхностных акустических волн (диапазон частот до 2 ГГц) и объемно-акустических волн (диапазон частот до 8 ГГц) , пьезокерамических элементов, совместимых с интегральной технологией микроэлектроники
44.
Разработка базовых конструкций микроакустоэлектромеханических систем
411, 574258, 8
5228
103, 82560, 3
88, 559
167, 249111, 5
разработка базовых конструкций и комплектов необходимой конструкторской документации на изготовление пассивных датчиков физических величин микроакселерометров, микрогироскопов на поверхностных акустических волнах, датчиков давления и температуры, датчиков деформации, крутящего момента и микроперемещений, резонаторов
45.
Разработка базовых технологий микроаналитических систем
3725
3725
создание базовых технологий изготовления элементов микроаналитических систем, чувствительных к газовым, химическим и биологическим компонентам внешней среды, предназначенных для использования в аппаратуре жилищно- коммунального хозяйства, в медицинской и биомедицинской технике для обнаружения токсичных, горючих и взрывчатых материалов
46.
Разработка базовых конструкций микроаналитических систем
13478
4720
6040
2718
создание базовых конструкций микроаналитических систем, предназначенных для аппаратуры жилищно-коммунального хозяйства, медицинской и биомедицинской техники, разработка датчиков и аналитических систем миниатюрных размеров с высокой чувствительностью к сверхмалым концентрациям химических веществ для осуществления мониторинга окружающей среды, контроля качества пищевых продуктов и контроля утечек опасных и вредных веществ в технологических процессах
47.
Разработка базовых технологий микрооптоэлектромеханических систем
42, 44427
15, 35810, 2
27, 08616, 8
создание базовых технологий выпуска трехмерных оптических и акустооптических функциональных элементов, микрооптоэлектромеханических систем для коммутации и модуляции оптического излучения, акустооптических пер